一般diy玩家要做气体沉积时,必须要用到化学气相沉积机台,这是有些复杂的设备。
但是这台设备能制作纳米材料,也能制作石墨烯。
如果这台机器性能好还可制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
可惜,叶回舟来到1980年,刚开始是一穷二白,连吃肉都成了奢望。
要不在几个月以前,他在制作空气铝电池时,哪用得着那么费力地制作石墨烯来做电池的电极。
就是因为当时没有条件制作沉积机台。
但他以前自己接到过一些订单,diy过沉积机。
不论是物理的还是化学的,比市面上便宜很多而且功能也实用得多。
现在要制取超微粒子需要满足以下四个最基本的需求。
一整套系统把传输和控制先驱体气体、载气和稀释气体进入反应室。
然后提供激发化学反应的能量源。
接着排除和安全处理反应室的副产物废气,精确控制反应参数,温度、压力和气体流量……。
所以要是制作沉积机台就等于要制作一整套沉积系统,包括化学气相沉积机台、压缩干燥空气设备……空气真空装置等等。
化学气相沉积设备根据cvd反应器的特性,其装置分为开口体系和密闭体系两大类。
叶回舟当时diy几套开口式和密闭式沉积机台赚了不少钱。
密闭式,这种反应方式是将一定量的反应物质和气体放置于反应器的两边,将反应器中抽成真空,再向其中注入部分输运气体。