第331章
研发光刻机
第333章
研发光刻机
芯片光刻机，也就是掩模对准曝光机，原理其实类似底片重印，利用光刻机发出的光，通过具有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片(就是掩膜）曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，使光罩上的图形覆印到薄片上，从而让薄片具有电子线路图的作用。
说穿了，光刻机也不过是个机器，只要母机精度足够，有合适的控制系统，而国内激光水平一直不错，再找到尼康的高级镜头，就没有造不出来的！
而印刷线路图必须用掩膜版，掩膜刻蚀的精度，决定了芯片的精度。
这个国内一直都在用六七十年代的进口设备和材料，已经不太先进，想赶超386，也要升级换代。
掩膜是用激光直写机，在掩膜基板上涂上光学膜和其他化学试剂，进行刻蚀的。采用激光为辐射源的直写光刻设备领域，
激光直写机的主要厂商为瑞典mycronic、德国heidelberg等企业，其中瑞典mycronic处于全球领先地位。
而基板必须做到绝对平整光滑，
有石英版、玻璃版、金属版等几种，
70年代以后，用的大都是合成石英版。
是用sici4作为原料，采用气相沈积生产合成的。
其原理，先生产易挥发的液体sici4，
在在载料气体的带动下，进入氢气氧气燃烧气中，
与水蒸气反应生成不定型二氧化硅，
然后并沈积在高温旋转的靶材上，
最终熔化形成高纯石英玻璃。
这种合成石英，具有宽的光投射铝区域，低的杂质含量和少的物理缺陷的特性。
这方面，东洋的信越化学和东曹石英是领军。
作为大国，我国也有一家重要厂商，就是沙市石英玻璃总厂，属原建材部九家重点石英玻璃生产厂家之一。
改制后，这个厂叫做菲利华，是一家上市公司，是全球少数几家能生产石英纤维，也就是光纤的公司之一，也是国内唯一能够量产合成石英光掩模基板的公司。
此外还有一种苏打玻璃铬板技术，是六十年代的技术，441所一直在用，但以后肯定是要淘汰的。
根据木桶原理，漏水总在有短板的地方，
刘光福决定，一定要在掩板和光刻机两条腿走路，齐头并进，一起发展。
可是，大多数人现在还认识不到未来科技发展方向。
比如沙市石英玻璃总厂，是未来的光纤科技领域，更是不可或缺的，现在居然归建材部管辖。
刘光福跟老侯说了，想要把这家厂子划归电子部管辖。
这当然不容易，但也不是不能，过去几个部和中科院的科研院所，经常在会上被划来划去，
现在虽然讲效益了，只要做通了工作，也可以通过部委结算后划归想买的部门。
刘光福，首先带着傻柱，还有老侯去找大领导。