风淋室的门在身后关闭,强劲的气流从四面八方吹来,带走最后一点尘埃。
史密斯整理了一下刚刚换上的白色无尘服,他身后的十三名专家动作整齐划一,他们对这套流程早已驾轻就熟,只是这一次的感觉有些不同寻常。
按照过往经验,被核查的企业,要么百般推诿,要么在接待规格上极尽所能,试图用场面功夫软化核查的锐度。
而启航却与众不同,在他们看来有些不对劲,却说不出哪里不对劲。
没有欢迎横幅,没有高管列队,甚至没有多余的寒暄。
只有一扇完全敞开的工厂大门,和一个眼神平静的年轻人。
穿过最后的缓冲间,核心车间的空间展现在眼前。
恒温恒湿系统带来的微凉空气,黄光区与白光区泾渭分明,天花板上纵横交错的管线与机械臂,赋予了严谨的工业秩序感。
刘建国厂长跟在韩栋身侧,一言不发,但他的站位和姿态,表明他随时可以回答任何关于生产流程的技术问题。
史密斯看向那些正在轨道上缓慢移动的晶圆传送盒,直接锁定在车间最核心的位置,那台体积庞大的LPCVD-4200化学气相沉积炉。
“按照流程,我们分三组。”
史密斯侧身对身后的团队下达指令。
“皮特,你带结构组,核查周边所有设备的物理状态和耗材使用记录。”
“丹尼,你的通信分析组,直接接入目标设备的控制后台,调取过去七十二小时的全部运行日志和报警记录。”
“其余人跟我来,进行现场工艺复现和产品检测。”
分工明确,动作迅速。
三名通信分析师,立刻从设备箱里取出专用的便携式工控机和一把接口各异的数据线,走向LPCVD-4200的控制柜。
史密斯则带着剩下的人,走到了设备的主操作台前。
“刘厂长,我需要看到这台设备当前的实时工艺参数。”
史密斯看向刘建国,毫不客气的说道。
刘建国看了一眼韩栋,见韩栋微微点头,他便走到操作台前,输入权限密码,调出二级监控界面。
屏幕上密密麻麻的数据流开始刷新。
史密斯凑上前,目光如鹰,盯住最关键的那一行。
【腔体反应区温度(实时):750.00℃】
【目标设定温度:750.00℃】
【温差波动:0.00℃】
数字稳定得好像一幅静止的画面。
史密斯瞳孔微缩了一下。
他很清楚,任何加热设备都存在温漂,即便是最顶级的PID控制算法,也无法做到绝对的零波动。
通常±0.5℃的波动都属于极优秀的范围。
而眼前这个0.00℃的读数,只有两种可能。
要么是启航的温控技术,已经突破了物理学的某个界限。
要么就是这个显示数字本身是个谎言。
科赫的计划,正是基于第二种可能。
“我需要查看历史温度曲线。”史密斯沉声说道。
刘建国没有犹豫,调出了过去七十二小时的温度记录曲线图。
一条完美的直线,横贯整个屏幕,像用标尺画出来一样,没有任何毛刺,没有任何尖峰。
史密斯身后的两名欧洲专家交换了一个眼神,他们看到了彼此眼中的难以置信。
“史密斯先生。”
另一边,通信分析组的组长丹尼快步走了过来,他手里拿着一台便携式电脑,脸色凝重。
“我们接管了它的日志端口,情况……似乎有些古怪。”
“说。”史密斯转过身。
“我检查了过去七十二小时的所有硬件日志、传感器读数记录和报警历史。”
丹尼将电脑屏幕转向史密斯。
“没有任何报警,一条都没有,系统状态记录全部是正常的。”
“包括之前特别提到的,那个关于传感器老化的E04故障码,似乎根本不存在,无论是当前日志还是历史日志,都没有这个代码的任何记录。”
史密斯终于皱起了眉头。
剧本不对。
按照科赫提供的情报,灰烬指令执行后,系统为了掩盖温度的非正常拉升,会在日志里伪造一个E04的老化故障码,将问题归咎于硬件的自然损耗。
可现在,既没有温度波动,也没有伪造的故障码。
干净,太干净了。
干净得就像一块从未被使用过的硬盘。
“有没有可能,他们提前清空了日志?”一名专家低声猜测。
“不可能。”丹尼立刻否定。
“这台设备的ROM是只读的,日志采用覆盖式写入,可以清除,但无法抹去操作痕迹。
我检查了底层的文件系统时间戳,过去一周没有任何高级别权限的写入或删除操作。”
现场陷入诡异的沉默,不再有任何的探讨,几人皆是陷入沉思。
韩栋始终站在几步之外,双手插在夹克口袋里,表情无波无澜,仿佛眼前发生的一切都与他无关。
他越是平静,史密斯心中的不安就越是放大。
史密斯深吸一口气,他决定推进到最后一步,也是最无法作伪的一步。
“既然日志没有问题,我要求现场开炉,取出最新一批完成沉积工艺的晶圆,进行物理检测。”
这是最后的审判。
无论后台数据如何伪装,物理定律不会说谎。
如果温度真的升高了两度,氮化硅薄膜内部的微观应力会发生灾难性的改变,这在任何精密的椭偏仪下都将无所遁形。
“可以。”刘建国点头,再次走向操作台。
他启动了降温与破真空程序,腔体内的惰性气体被缓缓抽出,石英加热管的功率开始线性下降。
等待的过程是漫长的。
史密斯背着手,在原地踱步,他的大脑在飞速运转,试图找出到底是哪个环节出了问题。
难道科赫的指令没有发送成功?
不可能。
他进来之前,科赫那边已经给出了执行成功的最终确认。
那个通道经过了无数次验证,绝对可靠。
难道是韩栋预知了这一切,提前更换了主板?
更不可能。
更换主板需要原厂授权和漫长的调试,根本不是几天内能完成的。
而且他们的情报显示,这台设备一直在满负荷运转。
十五分钟后。
“叮!”
一声清脆的提示音响起,表示炉内气压已与外界平衡。
机械臂自动探入炉膛,将一个盛放着二十五片深紫色硅片的石英舟,平稳地取了出来,放置在专用的冷却架上。
那二十五片直径八英寸的晶圆,在无尘车间顶灯的照射下,反射出深邃且均匀的光泽。
从外观看,它们完美无瑕。
“取三号、十二号和二十四号样本。”史密斯指定了三个随机位置。
一名欧洲专家戴上专用的真空吸笔,小心翼翼地将三片晶圆从石英舟中取出,分别放置在三台不同的检测设备上。