一台是他们从欧洲带来的,最新款布鲁克公司的台式椭偏仪,用于测量薄膜厚度和均匀性。
一台是四探针测试仪,用于检测薄膜的电阻率和漏电水平。
最后一台是应力测试仪,通过激光曲率法,直接量化薄膜内部的应力状态。
这三台设备,是半导体薄膜工艺的照妖镜。
所有人都看着那三台仪器的显示屏。
椭偏仪的激光束开始扫描晶圆表面,屏幕上一个三维的薄膜厚度拓扑图被一点点构建出来。
负责操作的专家看着屏幕上不断跳出的数据,嘴巴越张越大。
“史密斯先生……”他扭过头,面露惊恐。
“这……这不可能。”
“报告数据。”史密斯命令道。
“全片九点抽样,氮化硅薄膜平均厚度150.2纳米,与工艺设定值150纳米误差极小。
最关键的是均匀性,全片厚度极差小于1.5纳米,不均匀度低于百分之一!
这……这是我们在英特尔的实验室里才能看到的数据!
不对!甚至英特尔也达到不了这样的程度!”
百分之一!
这个数字让在场所有懂行的人都倒吸一口冷气。
这意味着启航的LPCVD工艺控制水平,已经达到了世界最顶级的水准。
史密斯的脸色变得有些苍白。
“漏电流!”他转向另一台设备。
四探针测试仪的探针缓缓落下,接触到晶圆表面,屏幕上的数字稳定了片刻,最终给出一个读数。
“漏电流密度低于每平方厘米10的负9次方安培。
绝缘性,完美!”
最后的希望,落在了那台应力测试仪上。
如果温度真的失控,薄膜内部会从正常的压应力转变为破坏性的拉应力。
压应力能让薄膜更致密,而拉应力则意味着薄膜内部充满了微观裂纹,濒临破碎。
激光束在晶圆表面反射,测量着它微小的曲率变化。
屏幕上,最终结果以一个绿色数值显示出来。
【薄膜应力:-210MPa】
负号,代表着压应力。
一个绝对健康、绝对致密的数值。
三台最精密的仪器,从三个不同的物理维度,给出了同一个结论。
这批晶圆,完美得无可挑剔!
“砰!”
史密斯感觉自己的心脏,被人用重锤狠狠砸了一下。
他踉跄着后退半步,扶住了身后的设备台。
完了。
科赫的计划,从根基上就彻底崩盘了。
没有温度异常,没有错误日志,没有报废的晶圆。
他们这支气势汹汹的联合核查小组,带着预设好的审判书而来。
结果却像一群小丑,亲手为启航的技术实力献上了一份最权威、最无可辩驳的背书!
“史密斯先生,我们还需要检查其他设备吗?”
结构组的组长皮特小心翼翼地走过来问道。
他的团队检查了一圈,所有的设备维护记录和运行状态都堪称典范。
检查?
还检查什么?
最核心的目标已经被证伪,其他的检查已经失去了任何意义。
史密斯缓缓抬起头,他的目光锁定在那个从始至终都保持着平静的年轻人身上。
韩栋。
这一刻,史密斯终于明白,从他们踏入这座工厂大门开始,就掉进了一个精心布置的陷阱。
韩栋知道他们要来。
他知道他们要查什么。
他甚至可能知道他们希望查出什么。
所以,他就在这里,安静地等着,等着他们用自己最专业的仪器,得出最让他们绝望的结论。
这不是一次核查。
这是一次公开处刑。
处刑的对象,不是启航,而是他们这支核查小组,以及他们背后那个自以为是的资本联盟。
史密斯推开身边的人,一步步走向韩栋。
他脸上的职业假笑已经完全消失,不再掩饰心中的震惊、愤怒和极度困惑。
“韩先生。”史密斯站在韩栋面前,两人相距不足两米。
“你……到底做了什么?”
这不是质问,而是近乎崩溃的探寻。
他无法理解。
眼前的现实,已经完全超出了他过去三十年建立起来的工业认知和技术逻辑。
这不科学。
韩栋终于将手从口袋里抽了出来。
他没有回答史密斯的问题,而是抬起手腕,看了一眼手表。
“史密斯先生,我想,现在你可以拿出你的评估报告了。”
韩栋的目光看向史密斯随身携带的那个黑色真皮公文包,语气平淡,仿佛能够洞穿一切。
“或者,需要我帮你念出结论栏里那几行已经提前打印好的字吗?”
“比如设备运行极不稳定,产品存在高危缺陷之类的话。”
韩栋每说出一个词,史密斯的脸色就白一分。
当最后一个词落下时,史密斯如遭雷击,整个人僵在原地。
他感觉自己从里到外,被扒得一丝不挂。
所有的伪装、所有的预案,在这个年轻人面前,都成了透明的笑话。
他,怎么会知道报告的内容?!
那份报告是最高等级的机密,在法兰克福机场出发前才由专人送达。
除非……
一个恐怖的念头在史密斯脑海中炸开。
除非,这场牌局从一开始,他们的所有底牌,就全部摊在了韩栋的桌面上。
那十三名外籍专家看着僵持的两人,大气都不敢喘一口。
他们终于后知后觉地意识到,自己卷入的,根本不是一场单纯的技术核查。
这是两个庞大体系之间,一次无声且致命的交锋。
而他们,只是棋盘上被推到阵前的兵卒。